氮化硅铁厂家安阳市红兴氮化材料有限公司长年生产及销售氮化硅铁合金,想了解氮化硅铁价格,欢迎前来咨询.
咨询服务热线
13383727034
联系我们 Contact Us
浙江氮化硅厂家
产品内容说明
/Product description
浙江氮化硅的生产方法分析：
电子级的浙江氮化硅薄膜是通过化学气相沉积或者等离子体增强化学气相沉积技术制造的：
3 SiH4（g） + 4 NH3（g） → Si3N4（s） + 12 H2（g）
3 SiCl4（g） + 4 NH3（g） → Si3N4（s） + 12 HCl（g）
3 SiCl2H2（g） + 4 NH3（g） → Si3N4（s） + 6 HCl（g） + 6 H2（g）
如果要在半导体基材上沉积氮化硅，有两种方法可供使用：
利用低压化学气相沉积技术在相对较高的温度下利用垂直或水平管式炉进行。
等离子体增强化学气相沉积技术在温度相对较低的真空条件下进行。
来源：http://zhejiang.hxdhcl.com/product747445.html
时间：2021/7/5 9:02:51
相关新闻
